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硅体微机械叉指电容式加速度传感器设计研究

  • 名称:硅体微机械叉指电容式加速度传感器设计研究 下载
  • 类型:电路设计方案
  • 授权方式:免费版
  • 更新时间:12-28
  • 下载要求:无需注册
  • 下载次数:755
  • 语言简体中文
  • 大小:188 KB
  • 推荐度:4 星级
《硅体微机械叉指电容式加速度传感器设计研究》简介

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